arrow_back
Retour aux plateformes

NANORENNES

NANORENNES

Description

Description de la plateforme

Depuis 2007, la plateforme NanoRennes est labellisée centrale de proximité par le CNRS. Elle est la plateforme de référence, dans le grand ouest, du réseau RENATECH+ ayant pour but de fédérer les moyens techniques et les savoir-faire des acteurs de la recherche en micro et nanofabrication.
NanoRennes est une plateforme de micro-nano-technologie, constituée de 260 m² de salles blanches, pour la fabrication à l'échelle sub-micronique de dispositifs microélectroniques et/ou photoniques. Son champ de compétence couvre à la fois la filière des matériaux Silicium et matériaux III-V.


Pôles de recherche

Matériaux

Thématique scientifique principale

Sciences de la matière et ingénierie

Compétences

Compétences / Expertises

Sciences des matériaux

Équipements et ressources

Détails des équipements

Lithographie
- 260 m² salles blanches (classe <100)
- Lithographie UV (0.3-0.8m) et électronique (50 nm) Gravure
- RIE, ICP RIE
- Dépôts et caractérisation électrique en boite à gants
- Chimique Dépôts - dopage
- Bâtis d'épitaxie MBE (InP, GaP, Si et alliages)
- Impression jet de matière
- LPCVD , APCVD, PECVD (Si, Ge, SiO2, SiN...)
- Pulvérisateurs cathodiques (Si, SiN, MgO, ...)
- Evaporateurs (Au, Ti, Pt, Al, Ni, Ge, Mo, ...)
- Fours de dopage Equipements de caractérisation
- Structurales (AFM, profilomètre, DRX...)
- Electriques (Tests sous pointes, conductivité, Hall, ...)
- Optique (Spectroscopie [0.4-10m], [10-350]K, ...)


Non renseigné

Services

Services

  • Prestations de service

Offres de services

FILIÈRE SI
- Haute et basse T
- MEMS
- Electronique organique
- Electronique imprimée

FILIÈRE III-V
- Croissance MBE (filière InP, GaP, Si)
- Fabrication de lasers semi-conducteurs
- Micro et nanostructures optiques
- Electronique hybride Si / III-V
- Filtres optiques dans le visible et l'IR
- Wire-bonding


Modalités d'accès à la plateforme

Adresser un email au contact


Public concerné par les services

  • Interne
  • Académiques
  • Entreprises, administrations, associations

Réalisations

Projets

Maturation SATT électronique 3D
Bolomètre (GREYC Caen)
Électronique sur plastique
Micro disque suspendu (FOTON)
Circuits microfluidiques
Nanostructuration surface pour application biologique (GREYC Caen)
Filtres optiques (LAAS Toulouse)

Ecosystème

Établissement principal

Etablissement universitaire - Université de Rennes


Établissement(s) secondaire(s)

  • Etablissement universitaire - Université de Rennes
  • Institut CNRS - CNRS
  • Etablissement universitaire - INSA

Contact
HARNOIS Maxime (Responsable scientifique)
Adresse
Université de Rennes - Campus de Beaulieu 263 Avenue du Général Leclerc - CS 74205
RENNES
Suggérer une modification
Vous souhaitez effectuer une demande de modification des informations liées à cette entité ? Renseignez les champs concernés dans le formulaire ci-après.
Université de Rennes
Contactez-nous

Université de Rennes
Direction de la recherche et de l’innovation
2 rue du Thabor
CS 46510
35065 Rennes cedex

Privacy Preference Center