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NANORENNES

NANORENNES

Description

Description de la plateforme

NanoRennes est une plateforme technologique régionale, labellisée par le CNRS depuis 2007. Elle est la plateforme de référence, dans le grand ouest, du réseau RENATECH+ ayant pour but de fédérer les moyens techniques et les savoir faire des acteurs de la recherche en micro et nanofabrication. La plateforme nanoRennes regroupe les moyens technologiques de l’IETR (équipe Microélectronique et MicroCapteurs) et de l’Institut FOTON (équipe OHM) pour la croissance de matériaux et de la micro-nano fabrication de dispositifs électroniques, photoniques ou pour la production d’énergies renouvelables. La particularité de la plateforme est de regrouper un fort savoir dans la croissance et la technologie associée au filières Silicium et III-V ainsi que dans l’électronique organique et le transfert printing. Ces moyens sont répartis au sein de salles blanches sur une surface totale de 300 m2, auxquelles s’ajoutent plus de 500 m2 de salles grises. La plateforme est implantée sur 2 sites : le site de l’IETR dans les locaux de l’Univ Rennes et le site de l’Institut FOTON – équipe OHM dans les locaux de l’INSA Rennes.


Pôles de recherche

Mathématiques-Numérique

Thématique scientifique principale

Sciences de la matière et ingénierie

Thématique(s) scientifique(s) secondaires

Énergie

Compétences

Compétences / Expertises

Sciences des matériaux
Analyse structurale et micro-structurale
Ingénierie optique et photonique

Détails des compétences

Epitaxie par MBE - Photolithographie optique et électronique - Gravure (sèche ou humide) - Packaging - Caractérisations des matériaux (électrique, optique, électro-optique) - Electronique organique - Fabrication additive


Équipements et ressources

Équipements

Microscopie
Salles blanches/Micro et nano-Fabrication
Caractérisation Surface/Interface
Synthèse et Mise en forme de matériaux
Diffractométrie
Fabrication additive et microfluidique
Mesures électriques et diélectriques

Détails des équipements

Lithographie
- 260 m² salles blanches (classe <100)
- Lithographie UV (0.3-0.8m) et électronique (50 nm) Gravure
- RIE, ICP RIE
- Dépôts et caractérisation électrique en boite à gants
- Chimique Dépôts - dopage
- Bâtis d'épitaxie MBE (InP, GaP, Si et alliages)
- Impression jet de matière
- LPCVD , APCVD, PECVD (Si, Ge, SiO2, SiN...)
- Pulvérisateurs cathodiques (Si, SiN, MgO, ...)
- Evaporateurs (Au, Ti, Pt, Al, Ni, Ge, Mo, ...)
- Fours de dopage Equipements de caractérisation
- Structurales (AFM, profilomètre, DRX...)
- Electriques (Tests sous pointes, conductivité, Hall, ...)
- Optique (Spectroscopie [0.4-10m], [10-350]K, ...)


Services

Services

  • Prestations de service
  • Collaboration de R&D
  • Mise à disposition
  • Formation

Offres de services

Procédés technologiques liés à la micro-nano fabrication (lithographie optique/electronique, dépôt de couches minces et gravure) - Procédés de croissance des matériaux par épitaxie MBE - Assemblage de composants (bonding/wire-bonding) - Fabrication de filtres optiques (du visible au moyen-infrarouge)


Modalités d'accès à la plateforme

voir site internet: https://nanorennes.cnrs.fr/travailler-avec-nous/


Public concerné par les services

  • Interne
  • Académiques
  • Entreprises, administrations, associations

Offres de formation

voir site internet: https://nanorennes.cnrs.fr/offre-de-formation/


Réalisations

Projets

Maturation SATT électronique 3D
Bolomètre (GREYC Caen)
Électronique sur plastique
Micro disque suspendu (FOTON)
Circuits microfluidiques
Nanostructuration surface pour application biologique (GREYC Caen)
Filtres optiques (LAAS Toulouse)

Ecosystème

Établissement principal

Institut CNRS - CNRS


Établissement(s) secondaire(s)

  • Etablissement universitaire - Université de Rennes
  • Etablissement universitaire - INSA

Contact
HARNOIS Maxime (Responsable scientifique)
Adresse
263 Avenue du Général Leclerc
Université de Rennes - Campus de Beaulieu - CS 74205
RENNES
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Direction de la recherche et de l’innovation
2 rue du Thabor
CS 46510
35065 Rennes cedex

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